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日本限制23種半導(dǎo)體設(shè)備和材料明細(xì)

發(fā)布時(shí)間：2023.06.05

日本今天開始正式限制23種半導(dǎo)體設(shè)備和材料出口給我國的企業(yè)，清單如下：

DUV光刻機(jī)

感光膠

化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

離子注入設(shè)備

氣相化學(xué)氣相沉積設(shè)備

熱氧化設(shè)備

外延設(shè)備

磁控濺射設(shè)備

離子束刻蝕設(shè)備

低介電常數(shù)材料

高純度氫氟酸

氮?dú)?

氟化氫

高純度氮?dú)?

高純度氧氣

高純度氬氣

高純度氦氣

高純度氫氣

高純度二氧化硅

高純度氯氣

高純度氟氣

高純度氟化氫

高純度氫氟酸

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